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金屬混合靶與準分子激光氣相沉積技術

正在ICF實驗中，準分子預混氣銷售，混合膜、多層膜是基礎、基準實驗用靶的一種重要靶型。薄膜的研究也成為ICF靶研究的重要領域，廣東準分子預混氣，高質(zhì)量的薄膜有利于物理診斷的研究。長期以來，發(fā)展了多種制膜技術和方法，如蒸發(fā)、離子束濺射、磁控濺射、分子束外延(MBE)、金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)、溶膠-凝膠法等。近年來，隨著高功率脈沖激光技術的發(fā)展而產(chǎn)生的脈沖激光制膜技術(PLD)，在制備多元素化合物膜等方面顯示了獨特的優(yōu)越性。

準分子激光在醫(yī)學上主要用于屈光不正的治1療，如用PRK、LASIK、LASEK等方法進行屈光不正的治1療，是目前臨床上應用比較普遍、安全、快捷、有效、穩(wěn)定的屈光不正治1療方法。

　　美國IBM公司開始使用并且改進準分子激光技術，主要應用在計算機芯片的制造以及塑料物質(zhì)上蝕刻精1確的圖形。

　　1980年IBM公司應用193nm準分子激光刨光鉆石。

　　1982年IBM將準分子激光技術應用在半導體光刻工藝中.

　　1986年AT&T貝爾實驗室研制出第1臺準分子激光分步投影光刻機.

　　目前準分子激光已廣泛應用在臨床醫(yī)學以及科學研究與工業(yè)應用方面，如：鉆孔、標記表面處理、激光化學氣相沉積，物理氣相沉積，磁頭與光學鏡片和硅晶圓的清潔等方面，哪里有準分子預混氣廠，微機電系統(tǒng)相關的微制造技術.

在大規(guī)模集成電路工藝的光刻技術領域，為了獲得更穩(wěn)定的、更小尺寸的微加工，對激光輸出的穩(wěn)定性有很高的要求。激光氣需要在高重復頻率下流場參數(shù)保持穩(wěn)定，這對激光器氣體循環(huán)系統(tǒng)的研究和設計提出了新的要求。本文用計算流體力學的理論知識和軟件對準分子氣體激光氣的內(nèi)流場進行了研究。首先，介紹了準分子激光氣產(chǎn)生激光的原理及激光腔內(nèi)部的結構，分析影響準分子激光氣流場分布的主要因素，結合流體力學和風機的知識，對風機的選型做詳細的說明，準分子預混氣出售，確定了激光器氣體循環(huán)的關鍵裝置與設計原理。其次，建立激光器氣體流動腔的數(shù)學模型，主要考慮橫流風機的結構設計。

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